FE-SEM
熱場發射電子顯微鏡系統(JSM-7000)
儀器簡介 :
儀器中文名稱：熱場發射掃描式電子顯微鏡(JSM-7000F) 儀器購置年月：2008 年03 月 加入貴儀年月：2015 年12 月 儀器放置地點：理工一館B118 室
重要規格 :
1. 電子槍：Emitter Schottky TFE 熱場發射式電子槍 2. 倍率：25x ~ 500,000x 3. 樣品載台移動範圍： X axis：70 mm Y axis：50 mm Z axis：3 ~ 41 mm Rotation angle：360∘ Tilt angle：-5∘~ +60∘ 4 . 解析度(SEI)Resolution：1.5 nm (15KV)、5 nm (1KV) 5. 附加儀器：能量分散光譜儀EDS、波長分散式光譜儀WDS
檢測服務項目 :
1. 微結構觀察(SEI ) 2. 背向式散射(BEI ) 3. 試片定性及半定量分析(EDS & WDS) 4. 非導體試片鍍碳、金、白金 附註：磁性、有機、高分子材料及生物樣品不在本系統服務範圍內。
系統開放等級 :
本系統共分為以下三級： A 級：可完全獨立自行操作(限校內研究所以上學生) B 級：只會基本操作(SEI & EDS)，需管理員陪同操作(限校內研究所以上學生) C 級：委託操作(校內、學術界、業界委託)
收費標準 :
學界-有國科會計畫者
A 級/ B 級執照
800 元/ 3 小時
SEI、BEI、EDS 皆可量測
委托操作(學術界)
1350 元/ 3 小時
SEI、BEI、EDS 皆可量測
鍍碳、金、白金
100 元/ 次
電流： 20mA 秒數： 120 秒內
學界-無國科會計畫者(100%自費)
委托操作(學術界)
2700 元/ 3 小時
SEI、BEI、EDS 皆可量測
鍍碳、金、白金
200 元/ 次
電流： 20mA 秒數： 120 秒內
業界
委托操作(業界)
4500 元/ 3 小時
SEI、BEI、EDS 皆可量測
鍍碳、金、白金
1000 元/ 次
電流： 20mA 秒數： 120 秒內
附註：
1. 本系統為時段制，一個時段為3 個小時，試片數量最多為6 片，超出者須依使用時數額外計費。
2. WDS 由於量測時間較久，需另外計費，詳細計費方式請來電詢問管理員。
3. 以上均會多收手續費20 元(以一次實驗為限)。
4. 若因個人因素導致量測無法進行或臨時取消，本中心會酌收工本費300 元/ 時段。
開放時間表 :
委託操作服務辦法 :
1. 請至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統 https://vir.nstc.gov.tw/home/Index預約時段並下載實驗申請單。
2. 詳實填寫實驗申請單寄電子檔至 brucel in@gms.ndhu.edu.tw。
3. 並列印一份將紙本實驗申請單(具委託者及指導教授簽名)及樣品送(寄)至國立東華大學貴儀中心。
4. 實驗申請單寄出三天內與管理員確認實驗條件。
5. 當實驗完成時， 東華貴儀中心將寄發繳款通知給預約之計畫主持人。
樣品規格須知 :
1. 樣品種類：粉末：大約5mg 左右；薄膜或塊材：大小約5 x 5 x 2 mm 以內。
2. 樣品性質：磁性、有機、高分子材料及生物樣品不在本系統服務範圍內。
試片操作前請先烤乾，鑲埋樣品請預先抽取真空，以利抽真空時間。
3. 樣品回收：如有要寄回樣品，請附上回郵信封以及28 元的郵票。
聯絡人 :
儀器專家: 陳怡嘉教授TEL: (03)8903227
儀器操作管理員： 林政文先生TEL: (03)8903973
諮詢服務： 實驗室(03)8903973 或貴儀中心(03)8903972
E-mail : brucelin@gms.ndhu.edu.tw
地址： 974花蓮縣壽豐鄉志學村大學路二段一號理工一館B118 室