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FE-SEM

熱場發射電子顯微鏡系統
(JSM-7000)

儀器簡介 :

儀器中文名稱:熱場發射掃描式電子顯微鏡(JSM-7000F)
儀器購置年月:2008 年03 月
加入貴儀年月:2015 年12 月
儀器放置地點:理工一館B118 室

重要規格 :

1. 電子槍:Emitter Schottky TFE 熱場發射式電子槍
2. 倍率:25x ~ 500,000x
3. 樣品載台移動範圍:
X axis:70 mm Y axis:50 mm Z axis:3 ~ 41 mm
Rotation angle:360∘ Tilt angle:-5∘~ +60∘
4 . 解析度(SEI)Resolution:1.5 nm (15KV)、5 nm (1KV)
5. 附加儀器:能量分散光譜儀EDS、波長分散式光譜儀WDS

檢測服務項目 :

1. 微結構觀察(SEI )
2. 背向式散射(BEI )
3. 試片定性及半定量分析(EDS & WDS)
4. 非導體試片鍍碳、金、白金
附註:磁性、有機、高分子材料及生物樣品不在本系統服務範圍內。

系統開放等級 :

本系統共分為以下三級:
A 級:可完全獨立自行操作(限校內研究所以上學生)
B 級:只會基本操作(SEI & EDS),需管理員陪同操作(限校內研究所以上學生)
C 級:委託操作(校內、學術界、業界委託)

收費標準 :

學界-有國科會計畫者

A 級/ B 級執照

800 元/ 3 小時

SEI、BEI、EDS 皆可量測

委托操作(學術界)

1350 元/ 3 小時

SEI、BEI、EDS 皆可量測

鍍碳、金、白金

100 元/ 次

電流: 20mA 秒數: 120 秒內

學界-無國科會計畫者(100%自費)

委托操作(學術界)

2700 元/ 3 小時

SEI、BEI、EDS 皆可量測

鍍碳、金、白金

200 元/ 次

電流: 20mA 秒數: 120 秒內

業界

委托操作(業界)

4500 元/ 3 小時

SEI、BEI、EDS 皆可量測

鍍碳、金、白金

1000 元/ 次

電流: 20mA 秒數: 120 秒內

附註:
1. 本系統為時段制,一個時段為3 個小時,試片數量最多為6 片,超出者須依使用時數額外計費。
2. WDS 由於量測時間較久,需另外計費,詳細計費方式請來電詢問管理員。
3. 以上均會多收手續費20 元(以一次實驗為限)。
4. 若因個人因素導致量測無法進行或臨時取消,本中心會酌收工本費300 元/ 時段。

開放時間表 :

委託操作服務辦法 :

1. 請至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統  https://vir.nstc.gov.tw/home/Index預約時段並下載實驗申請單。
2. 詳實填寫實驗申請單寄電子檔至 brucel in@gms.ndhu.edu.tw。
3. 並列印一份將紙本實驗申請單(具委託者及指導教授簽名)及樣品送(寄)至國立東華大學貴儀中心。
4. 實驗申請單寄出三天內與管理員確認實驗條件。
5. 當實驗完成時, 東華貴儀中心將寄發繳款通知給預約之計畫主持人。

樣品規格須知 :

1. 樣品種類:粉末:大約5mg 左右;薄膜或塊材:大小約5 x 5 x 2 mm 以內。
2. 樣品性質:磁性、有機、高分子材料及生物樣品不在本系統服務範圍內。
    試片操作前請先烤乾,鑲埋樣品請預先抽取真空,以利抽真空時間。
3. 樣品回收:如有要寄回樣品,請附上回郵信封以及28 元的郵票。

聯絡人 :

儀器專家: 陳怡嘉教授TEL: (03)8903227
儀器操作管理員: 林政文先生TEL: (03)8903973
諮詢服務: 實驗室(03)8903973 或貴儀中心(03)8903972

E-mail : brucelin@gms.ndhu.edu.tw
地址: 974花蓮縣壽豐鄉志學村大學路二段一號理工一館B118 室