國立東華大學 貴重儀器中心

X光光電子能譜儀(X-ray Photoelectron Spectrometer)

使用暨管理辦法

一、儀器說明：

• X光光源(X-ray Source)：

Microfocus monochromated X-ray source： Al K-α

X-ray Spot Size：30μm~400μm

• 電子能量分析系統(Electron Energy Analyzer)：

Multi-channel detector (128 channels)

Energy resolution

Ag 3d5/2 peak 0.5 eV

PET O=C-O C1s peak 0.85eV

• 真空系統(Analysis chamber ultimate vacuum)： 5×10^-9 mbar

• 樣品 (Sample )：Max 60×60×15mm

• 電荷補償系統(Charge Neutralization) ： Flood Gun

• 離子噴濺系統(Ion Sputtering)： Ar⁺ lon Gun (0.2 KeV~3 KeV)

• 樣品傳送及觀察定位系統

• 軟體控制平台、實驗參數控制及數據分析系統

二、開放時間表

三、 收費標準

  附註：1. 校外人員均以委託代工形式送測

                2. 業界若有長期使用需求可另行議價

四、預約使用

1. 欲預約者請至國家科學及技術委員會基礎研究核心設施預約服務管理系統: https://vir.most.gov.tw/Home/Index登入預約，並請提前一週預約。
2. 預約一個委託代工時段以十個樣品為限，如有特殊需求請與管理人員協調溝通。

   3.同一實驗室預約以三次為限。當次實驗完方能在預約下一次，以維護其他使用者之權利，如有特殊需求，請與管理人員協調溝通。

      4. 取消預約需在預約日前三天上班時間（17：00以前）以電話取消或以mail通知本中心管理人員，若未告知者，仍得支付該時段費用。

五、樣品規範

1. 可接受粉末、薄膜、塊材等樣品，但樣品不得具有毒性或輻射性。樣品僅量弱磁性樣品
2. 為保護及維持 XPS 之最佳使用功能，恕不接受易揮發或易產生破壞的樣品之使用申請。
3. 所檢測之樣品材質需自行處理完整，如因使用者樣品問題而造成無法完成檢測的情況，使用者需自行負責。
4. 申請時請簡述試片成分，申請後並不得於操作當天進行更改，如申請簡述與事實不符，或於操作中有異狀發生時，管理員得以於任何時候臨時取消申請(包含正在實驗中的樣品)。
5. 如有任何違反以上條例，依情節輕重可處以1~3個月不得申請使用的處罰(包括申請人的實驗室所有成員) 。

六、其他規範

1. 數據存取，禁止使用隨身碟，校外內一律由管理員E-mail寄發數據。數據最多保留三天，超過三天則由管理員刪除，若有任何問題請直接與管理員聯絡。校外委託量測須寄回樣品，請自行準備回郵信封，並貼足郵票以便寄回。
2. 樣品掃描本中心會檢附數據及簡易比對輸出。
3. 如樣品具商業性或機密性，請送測人員親臨現場，除操作部分由管理員親做，數據輸出及簡易比對則由送測人員自行操作(有簡易教學)，數據分析完請立即刪除，本中心不代為保管數據。
4. 管理人員可依現有使用情況調整預約開放情況。

七、放置地點與儀器負責人

設置地點：國立東華大學理學院 B118

• 儀器負責人：葉旺奇 教授 TEL: (03) 03-8903719
• 儀器管理人：林政文          TEL: (03) 03-8903973