國立東華大學貴重儀器中心

熱場發射掃描式電子顯微鏡

Thermal Field Emission Scanning Electron Microscope

(FE-SEM)

一、儀器設備：

儀器中文名稱：熱場發射掃描式電子顯微鏡 (JSM-7000F)

儀器購置年月：2008年03月

加入貴儀年月：2015年12月

重要規格：

1. 電子槍：Emitter Schottky TFE 熱場發射式電子槍
2. 倍率：25x ~ 500,000x
3. 樣品載台移動範圍：

X axis：70 mm    Y axis：50 mm    Z axis：3 ~ 41 mm

Rotation angle：360∘    Tilt angle：-5∘~  +60∘

4. 解析度(SEI)Resolution：1.5 nm (15KV)、5 nm (1KV)
5. 附加儀器：能量分散光譜儀EDS、波長分散式光譜儀WDS

二、服務項目

1. 微結構觀察(SEI)
2. 背向式散射(BEI)
3. 試片定性及半定量分析(EDS & WDS)
4. 非導體試片鍍碳、金、白金

附註：

      磁性、有機、高分子材料及生物樣品不在本系統服務範圍內。

三、系統開放等級

  本系統共分為以下三級：

1.    級：可完全獨立自行操作 (限校內研究所以上學生)
2.    級：只會基本操作(SEI & EDS)，需管理員陪同操作 (限校內研究所以上學生)
3.    級：委託操作 (校內、學術界、業界委託)

四、收費標準:

 學界：

 業界：

附註：

1. 本系統為時段制，一個時段為3個小時，試片數量最多為6片，超出者須依使用時數額外計費。
2. WDS由於量測時間較久，需另外計費，詳細計費方式請來電詢問管理員。
3. 以上均會多收手續費20元(以一次實驗為限)。
4. 若因個人因素導致量測無法進行或臨時取消，本中心會酌收工本費300元 / 時段。
5.  

五、開放時間表

六、聯絡人

儀器專家: 陳怡嘉 教授  TEL: (03)8903227

儀器操作管理員：林政文 先生  TEL: (03)8903973

諮詢服務：實驗室(03)8903973 或 貴儀中心(03)8903972

儀器放置地點：理工一館B118室

七、委託操作服務辦法：

1. 請至國家科學及技術委員會基礎研究核心設施預約服務管理系統https://vir.most.gov.tw/home/Index 預約時段並下載實驗申請單。
2. 詳實填寫實驗申請單寄電子檔至brucelin@gms.ndhu.edu.tw。
3. 並列印一份將紙本實驗申請單(具委託者及指導教授簽名)及樣品送(寄)至國立東華大學貴儀中心(974花蓮縣壽豐鄉志學村大學路二段一號理工一館B118)。
4. 實驗申請單寄出三天內與管理員確認實驗條件。
5. 當實驗完成時，東華貴儀中心將寄發繳款通知給預約之計畫主持人。

八、樣品規格須知：

1. 樣品種類：

粉末：大約5mg左右

薄膜或塊材：大小約5 x 5 x 2 mm以內

2. 樣品性質：

磁性、有機、高分子材料及生物樣品不在本系統服務範圍內。

試片操作前請先烤乾，鑲埋樣品請預先抽取真空，以利抽真空時間。

3. 樣品回收：

如有要寄回樣品，請附上回郵信封以及28元的郵票。

九、儀器操作預約：

請至國家科學及技術委員會基礎研究核心設施預約服務管理系統預約https://vir.nstc.gov.tw/home/Index