本中心自105年2月成立，其成立目的主要是整合本校物理系、化學系和材料系等系所擁有的貴重儀器，並加強這些儀器設備之使用、管理與維護，使東部地區研究機構能夠分享這些貴重儀器，對於國家科學研究而言可避免貴重儀器重覆購置之資源浪費。

1. 熱場發射電子顯微鏡 (FE-SEM)
2. X光-光電子能光譜儀 (XPS)
3. 超導量子干涉儀 (SQUID)
4. 核磁共振儀 (NMR, 300 MHz, 400 MHz, 600 MHz)
5. 質譜儀 (四極柱飛行時間串聯式質譜儀)